无畸变监控，半导体制造中的毫米级精度革命，无畸变监控镜头 无畸变监控镜头作为半导体制造领域的关键技术突破，通过采用高精度光学补偿算法与自适应变形校正技术，成功解决了传统监控系统中毫米级微结构观测的畸变难题，该技术可在纳米级加工过程中实现亚微米级形变检测，有效消除镜头因温度波动、机械振动等因素产生的非线性失真，使晶圆表面缺陷识别准确率提升至99.97%，基于此，台积电5nm工艺已实现零镜头校准产线改造，单机台良品率从82%跃升至95%，设备综合... 2025-04-21 17:07:04 监控摄像 639 0
